氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
2022.04.29
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測量的完整系統(tǒng)。
我們知道氣體在電子的轟擊下會產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運(yùn)動，而具有不同質(zhì)荷比的離子其運(yùn)動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離，這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運(yùn)動并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。
檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標(biāo)準(zhǔn)檢漏技術(shù)來完成，而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。
近年來由于電子工業(yè)的發(fā)展，空間探索活動的增加，檢漏技術(shù)得到了快速發(fā)展，它的重要標(biāo)志是將以氦為示蹤氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀已快速地進(jìn)入了各個(gè)適用的領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀同其它檢方法相比，除檢漏方法不同之外，以它的檢測靈敏度高、速度快，可進(jìn)行定性、定量、定點(diǎn)的檢測特別是選擇無破壞性、，無危險(xiǎn)的隋性氣體氦為示蹤氣體，使它成為今天檢漏儀器當(dāng)中的佼佼者。
